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中电熊猫15.6吋BCE面板成功点亮

7月17日,15.6吋BCE面板(ban)(ban)(ban)在中电(dian)(dian)熊猫(mao)8.5代线成功点亮(liang),中电(dian)(dian)熊猫(mao)2017年重(zhong)(zhong)点研发项(xiang)目“非晶态IGZO BCE制程量产工艺研究”取得(de)突破性进展(zhan)!这标志着中电(dian)(dian)熊猫(mao)在IGZO技术领域的(de)领先地位进一(yi)步确立(li),必将有(you)力带动面板(ban)(ban)(ban)产品的(de)高端化,对中国电(dian)(dian)子(zi)、中电(dian)(dian)熊猫(mao)平板(ban)(ban)(ban)显示产业创(chuang)新发展(zhan)具有(you)重(zhong)(zhong)要意义。

BCE结(jie)(jie)构(gou)(即(ji)背沟(gou)道蚀刻型(xing)结(jie)(jie)构(gou))是IGZO TFT器件的一种结(jie)(jie)构(gou)类型(xing)。目前,中电熊猫8.5代线(xian)IGZO制(zhi)(zhi)程技(ji)术(shu)采用(yong)的是TFTESL结(jie)(jie)构(gou)(即(ji)刻蚀阻挡型(xing)结(jie)(jie)构(gou)),器件所占版图(tu)空间较(jiao)大(da),不利(li)于(yu)实(shi)现(xian)更(geng)窄的边框设计和更(geng)高(gao)的开口率;而(er)BCE结(jie)(jie)构(gou)具有光刻次数少、器件小型(xing)化、制(zhi)(zhi)造成本低(di)等优点,其技(ji)术(shu)开发量产(chan)有利(li)于(yu)降(jiang)低(di)产(chan)品(pin)(pin)成本、实(shi)现(xian)高(gao)端产(chan)品(pin)(pin)开发、增强IGZO技(ji)术(shu)的市场(chang)竞争力。

此次(ci)15.6吋BCE面板成功(gong)点亮(liang),标志着中(zhong)电熊猫(mao)8.5代线IGZOTFT器件从(cong)ESL结构(gou)(gou)向BCE结构(gou)(gou)的重大(da)转变,朝着IGZO BCE制程量产(chan)迈出了(le)重要一(yi)步,将助推中(zhong)电熊猫(mao)产(chan)品向更(geng)高(gao)分(fen)辨率的高(gao)端(duan)产(chan)品转型。

今年(nian)2月(yue)起,中(zhong)电熊(xiong)猫正式(shi)启动“非(fei)晶(jing)态IGZO BCE制程(cheng)量(liang)产工(gong)(gong)艺(yi)研(yan)究(jiu)”项目(mu),组建项目(mu)团队,开展(zhan)项目(mu)攻关(guan)。项目(mu)实行分(fen)阶(jie)段闭环管理,定期开展(zhan)阶(jie)段性(xing)(xing)成果(guo)测试与评价,实时监控(kong)项目(mu)进度和质量(liang),先后解决(jue)了(le)BCE制程(cheng)中(zhong)IGZO薄膜(mo)易腐蚀(shi)等关(guan)键性(xing)(xing)难题,完成了(le)新靶材规格确(que)认、新铜酸(suan)烧杯试验、mask设计、试生产等一(yi)系列工(gong)(gong)作(zuo),并于7月(yue)17日首次试做即(ji)成功点亮, BCE工(gong)(gong)艺(yi)的优化工(gong)(gong)作(zuo)也(ye)随后完成。


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